ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЕВЫХ НАНОНИТЕЙ В УСЛОВИЯХ ГАЗОВОЙ АДСОРБЦИИ АММИАКА.
DOI:
https://doi.org/10.31489/2020No1/54-58Ключевые слова:
кремний, нанонити, электрические свойства, металл-стимулированное химическое травление, вольт-амперная характеристика, сенсорАннотация
"При мониторинге окружающей среды большое значение имеют измерения концентрации и состава газовой фазы различных веществ. Для решения таких задач интерес представляют полупроводниковые сенсоры резистивного типа. Предлагаемые сенсоры на основе кремниевых нанонитей обладает рядом преимуществ высокая чувствительность и работать при комнатной температуре. Это в свою очередь упрощает конструкции и снижает себестоимость датчиков. Все это указывает на актуальность исследуемого газового сенсора. "
Библиографические ссылки
"1 Buturlin A.I. et al. Gas-sensitive sensors based on metal oxide semiconductors. Foreign Electronic Technology, 1983, No.10, pp. 3 - 39. [in Russian]
Dey A. Semiconductor metal oxide gas sensors: A review. Materials Science and Engineering: B, 2018, Vol. 229, pp. 206–217.
Fau P., Sauvan M., Trautweiler S., et al. Nanosized tin oxide sensitive layer on a silicon platform for domestic gas application. Sensors and Actuators. 2001, Vol.78, pp. 83–88.
Barsan N., Weimar U, Understanding the fundamental principles of metal oxide based gas sensors; the example of CO sensing with SnO2 sensors in the presence of humidity. Journal of Physics: Condensed Matter. 2003, Vol. 15, No. 20, pp. 813 – 839.
Vashpanov Yu.O., Smyntyna V.A. The adsorption sensitivity of semiconductors. Odessa, 2005, 216p.
Oleksenko L.P., et al. Study of influence of palladium additives in nanosized tin dioxide on sensitivity of adsorption semiconductor sensors to hydrogen. Sensors and Actuators B: Chemical. 2014, Vol. 196, pp. 298–305.
Sechenov D.A., ZakharovA.G., Nabokov G.M. Electrophysical properties of MIS structures formed on silicon with a high dislocation density. News of higher educational institutions of the Ministry of Higher and Secondary Special Education of the USSR. Physics.1977, No. 9, pp. 137 – 143. [in Russian]
Maccagnani P., Dory L., Negrini P. Thermo-Insulated Microstructures Based on Thick Porous Silicon Membranes. Proc. of the 13th European Conf. on Solid-State Transducers. Netherlands, 199, pp. 817 – 820.
Simon I., Bârsan N., Bauer M., Weimar U. Micromachined metal oxide gas sensors: opportunities to improve sensor performance. Sensors and Actuators B: Chemical. 2001. Vol.73, pp. 1–26.
Kayahan E. Porous silicon based CO2sensors with high sensitivity. Optik.2018. Vol. 164, pp. 271–276.
Baratto C., et al. Multiparametric Porous Silicon Sensors. Sensors. 2002. Vol. 2, pp. 121-126.
Phan Hong P., Chu Manh H., Van Toan N., et al. One-step fabrication of SnO2 porous nanofiber gas sensors for sub-ppm H2S detection. Sensors and Actuators A: Physical. 2019. Vol. 303, pp. 111722.
Wu Q.H., Li J., Sun S.G. Nano SnO2gas sensors. Current Nanoscience. 2010. No. 5, Vol. 6, pp. 525-538.
Dwiputra M.A., Fadhila F., et al. The Enhanced Performance of Capacitive-type Humidity Sensors Based on Heterostructure ZnO Nanorods/WS2 Nanosheets. Sensors and Actuators B: Chemical. Vol. 310, pp. 127810.
"
